半導体・液晶製造装置業界向け

クリーンルーム向けボールベア/株式会社井口機工製作所

【ISCボールベア】
・ガラス基板を支える接触部材として、従来のピン方式に比べ、驚くほどの軽さでアライメントが可能。
・ガラス基板に傷を付けない高機能樹脂材料を随所に採用。
・パーティクルの発生を、極限まで抑えた高精度部材と組立方式。
・パーツ別脱脂洗浄によるクリーンパックを標準化。
・200度以上の高温環境、真空チャンバー内等、特殊環境用製品も対応可能
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クリーンシリーズ空気圧機器/SMC株式会社

【クリーンシリーズ】
発塵測定試験により、発塵レベルをグレード1~4に分類し、クリーンルームクラス清浄度で使い分けが可能

アクチュエータ 10/11/12/13シリーズ
・ダブルパッキン/大気開放 シングルパッキン/真空引き
・ガイド部特殊処理・外周面特殊処理
10-シリーズその他
・電磁弁・圧力制御機器・フィルタ・継手等
21/22シリーズ
・銅・フッソ素・シリコン系不可+低発塵  詳細はコチラから


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エアベアリング/オイレス工業株式会社

【ナノメータ精度・超高速・摩擦係数ゼロを実現】
・サブミクロンクラスの高回転精度が得られます。
・超精密ステージ等の浮上ガイドパッドとして、非接触搬送用の浮上パッドとして、微小位置決め、加圧制御用のガイドとして
・カスタマイズ製作対応可
・勿論、クリーンルーム対応可能 詳細はコチラから

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ボールリテーナ入りLMガイド・ボールネジ/THK株式会社

【ボールリテーナの採用により低発塵を実現】
ボール同士の相互摩擦はもとより、貫通穴の樹脂化により金属接触をなくしました。また、グリースの保持力も高く、飛散の少ないボールリテーナ入りLMガイドは優れた低発塵性を発揮します。
・SHS(世界標準ガイド)、SRS(ミニチュアガイド)
・SBN(高速精密ボールねじ)
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プラケーブルベヤ/株式会社椿本チエイン

【低発塵プラケーブルベヤ/TKR型】
・ピンとピンの穴部の摺動摩擦がなく、きわめて低騒音で、低発塵です。しかも切継ぎ可能で長さ調整が可能
・内高さ22~52mmまで4機種、又、内幅も20~200mmまで多彩なバリエーションをラインアップ
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超小型表示器/株式会社デジタル

【GP4100シリーズ】
・表示がきれい
・プログラムレスで制御機器と簡単接続
・画面作成ソフトウェアはWEBからダウンロード可能
・横置き縦置きを自由に選べる   詳細はコチラから

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